平面度的量測

量測指定平面之「表面凹凸」的平面度
最凸出及最凹陷的部份必須在上下分離2個平面之間夾住的一定距離。

圖面範例

平面度的量測

千分錶的量測

千分錶的量測
a
目標物
b
平台
c
千分錶

將目標物放在精密平面平台固定,並千分錶的量測部設置在接觸到量測面。
移動目標物,以使量測處均等,讀取千分錶的數值。
這些偏差的最大值即平面度。

問題點

量測點依目標物移動方式改變,因此量測值也可能改變。因此,難以取得穩定的量測值。

三次元測量儀的量測

三次元測量儀的量測
a
目標物

將探針輕點4點以上並進行點量測,即可量測平面度。
若增加量測點,則即使量測範圍廣,亦可進行高精度且穩定的量測。

量測畫面
量測畫面
a
平面度的量測結果

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