3D雷射位移計

自光源所照射的光透過分光鏡一分為二，一邊反射向目標物，另一邊反射到參考面鏡，並以干涉光照射至受光元件。當干涉光彼此的光徑長一致時，干涉強度為最大。將所有光學零件組裝為一體，並上下驅動此光學模組拍攝多張對比影像，從影像的每個畫素讀取干涉強度最大的光學模組位置，來量測到目標物的距離。