3D 干涉式位移感測器
WI-5000 系列
產品特點
非點、非線，而是以「面」量測
針對最大10 × 10 mm 的測量區域，可瞬間獲取8萬個點的高度。由於採用白光干涉原理，不受材質、顏色、死角的影響，實現了微米級的高精度測量。
於線上實現高速全數檢查
量測多點時，必須高精度且高速地掃描目標物。 因此往往會將時間耗費在移動載物台上，難以執行全數檢查。然而 WI-5000 系列以面執行同時量測，所以能夠大幅縮短量測時間，實現全數檢查。
大幅減少離線檢查工時
為了在離線檢查使用，準備了固定感測頭的專用支架。 還搭載了可減少檢查工時的各種實用功能。改善從簡易量測到資料儲存等各種場合的操作性。
