白光干涉位移計

白光干涉位移計(3D)是以「面」拍攝、量測工件的位移計。不受工件材質、顏色影響,也不會因狹窄位置或溝槽的邊緣等凹凸形狀遮住反射光。可利用高度資訊進行高低差、寬度、角度、體積、粗糙度、平坦度等各種量測。

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產品陣容

WI-5000 系列 - 3D 干涉式位移感測器

採用白光干涉原理實現高速、高精度的3D量測。從段差/體積量測等量測,到寬度/面積等各式各樣的量測均可因應。

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