安裝狀態/安裝模式 三角測距時
使用雷射位移計量測目標物時,需要用接收器接收來自目標物的反射光。三角測距方式的測量儀中,會依據目標物的表面狀態傾斜安裝感測頭,以確保能夠適當接收反射光。
A)目標物不透明時
在與目標物水平方向上安裝感測頭
![](/Images/ss_library_b_term_001_1975225.jpg)
B)目標物透明時
安裝時確保入射角與反射角相等
![](/Images/ss_library_b_term_002_1975226.jpg)
在此說明選擇測量儀時用到的術語,若是事先有所瞭解,選擇時將更加方便。
使用雷射位移計量測目標物時,需要用接收器接收來自目標物的反射光。三角測距方式的測量儀中,會依據目標物的表面狀態傾斜安裝感測頭,以確保能夠適當接收反射光。
A)目標物不透明時
在與目標物水平方向上安裝感測頭
B)目標物透明時
安裝時確保入射角與反射角相等
使用雷射位移計量測目標物時量測值為0的點。
一般是指自感測頭的底面至量測範圍中心的距離。
表示雷射位移計可量測的目標物位移量的範圍。
一般標示為以參考距離為基準±○○mm。
上述的雷射位移計可在圖示的範圍內量測目標物。
使用光的非接觸式測量儀利用的原理是,從發射器向目標物照射光,並使用接收器接收目標物的反射光。其中使用的光源多種多樣,例如紅色半導體雷射、藍色半導體雷射、白色光、SLD以及綠色LED等。
使用何種光源由測量儀的原理決定,使用符合光源的鏡頭和受光元件等,可以實現高精度的量測。
非接觸式測量儀一般有2種光點直徑。即橢圓形和小光點型。
橢圓形量測橢圓內的平均高度,因此不易受到目標物表面粗糙度誤差的影響。但是光點尺寸大,因此不適合形狀量測以及較小部位的量測。
另一方面,小光點型的光點小,因此可在形狀量測和細小部位的量測方面發揮作用,但同時會追蹤表面粗糙度,因此相較於橢圓形,容易受到表面粗糙度誤差的影響。
表示重複量測目標物指定點時的偏差。
直線性是體現測量儀性能的指標。表示理想值與實際量測結果之間的誤差的最大值。例如,使用直線性±5 μm的測量儀,將目標物移動1 mm時,就代表其顯示的數值中可能包含±5 μm的誤差(0.995 mm~1.005 mm)。
直線性的規格定義為±○○% of F.S. ,F.S.代表量測範圍,如以下範例所示進行計算。可以說直線性越小的儀器越是優良。
例)如果測量儀的直線性:0.02% of F.S.,量測範圍±3 mm(F.S.= 6 mm)
則[直線性] = 0.02% × 6 mm = ±1.2 μm
溫度特性表示感測頭的溫度每變化1度時產生的量測值誤差的最大值。感測頭的內部有鏡頭、CMOS以及用於固定這些的治具。溫度變化時,這些部件會膨脹、收縮,CMOS上成像的光點位置發生變化,從而導致誤差。
溫度特性定義為○○% of F.S./℃,F.S.代表量測範圍,如以下範例所示進行計算。可以說溫度特性越小的儀器越是優良。
例)如果測量儀的溫度特性:0.01% of F.S./℃,量測範圍±3 mm(F.S.= 6 mm)
則[溫度特性] = 0.01%/℃ × 6 mm = 0.6 μm/℃
表示測量儀可以在不受外部光的影響下量測的外部光源最大光照度。
保證測量儀的工作的溫度環境。
保證測量儀的工作的濕度環境。
表示振動對測量儀的影響的指標。表示按照記述的數值實施了評估。
一般記述格式為「10至55 Hz 雙倍振幅1.5 mm X、Y、Z各方向2小時」,具體而言,按照以下內容實施測試。
在X方向上以10至55 Hz的頻率在2小時內變化±0.75 mm的振幅
⇓
在Y方向上以10至55 Hz的頻率在2小時內變化±0.75 mm的振幅
⇓
在Z方向上以10至55 Hz的頻率在2小時內變化±0.75 mm的振幅
表示測量儀在1秒內可量測的資料點數。取樣週期為100 Hz的測量儀,在1秒內實施100次量測。測量儀的取樣週期越短越能夠在線上正確量測移動的目標物,並且可以大量執行單一時間內的平均化處理,因此量測值能夠穩定。
受光波形是體現受光元件接收的光的狀態的波形。縱軸代表光的強度,橫軸代表受光元件上的位置。透過確認受光波形的形狀,可以判斷當前的量測是否正確執行。
能夠穩定量測的受光波形。
未能獲得足夠的反射,因此無法量測。
飽和狀態。這時量測值的偏差將變大。
量測樹脂等時,雷射光投入目標物內,受光波形將會左右不對稱。
這時的量測值根據真實值,依投入量進行相應的轉換。
量測玻璃等透明的目標物時,會出現1條以上的峰值。量測玻璃時,可獲得表面的反射峰值和背面的反射峰值2條峰值曲線。
自測量儀發射器照射出的光的中心軸稱為光軸。
光軸區域圖是體現光從發射器到接收器的路徑的圖。若是治具等進入該區域,則光將無法到達目標物或接收器,導致無法量測。
驅動商品所需的電源的電壓。如果規格為24 VDC±10%,則代表需要電壓為24 V且變動量控制在±2.4 V以內的直流電源。
驅動商品時消耗的電流量。使用的電源必須選擇容量大於該最大消耗電流的商品。