共焦顯微鏡
共焦顯微鏡的功能和操作，需考慮於諸多方面因素。
何謂共焦顯微鏡？
共焦顯微鏡 在受光元件前面有一個針孔，用於阻擋環境光和失焦光。因此共焦顯微鏡允許將反射最強光的位置度作為真實高度。本章節介紹KEYENCE形狀分析雷射顯微鏡檢測過程的各個步驟。
共焦顯微鏡的工作原理是什麼？
本章節介紹了共焦原理的四個步驟。
1.光的透射
- A
- 光源
- B
- 物鏡
- C
- 目標物
共焦顯微鏡透過物鏡將光透射到目標物上。透過物鏡，將光聚焦在目標物待量測區域的焦點上。
2.反射光
- A
- 針孔
- B
- 半透鏡
- C
- 受光元件
位於焦點處的目標物將光透過光學系統反射回半透鏡，該半透鏡繼而將光反射至受光元件。
3.反射光穿過針孔
- A
- 集中雷射
- B
- 半透鏡
設置在受光元件前面的針孔可阻擋樣本反射的所有失焦光。
4.對焦
- A
- 聚焦時
- B
- 失焦時
只有穿過針孔的光被聚焦於一點，其餘光則被掩模區域吸收。如果目標物不在焦點處，則光線聚焦在偏移針孔的點上，這會擴大來自共焦顯微鏡的光束，使光線不再聚焦在針孔上。意味著到達受光元件上的光線減少。共焦顯微鏡根據返回受光元件的反射光的強度檢測目標物是否在焦點處。因此只有來自目標物區域的光線會到達受光元件，而來自其他區域的光線則無法到達。
KEYENCE 的形狀分析 雷射共軛焦兼白光干涉顯微鏡使用共焦原理和雷射點掃描儀，只需按一下，即可進行快速、準確和自動化的量測。
