同軸垂直照明

光學照明技巧 - 同軸垂直照明

對於金屬鏡面或表面平滑的樹脂、半導體晶圓等正反射的目標物，若採用斜向照明，反射光無法充分進入鏡頭，會有光量不足的情形。若要觀察表面的光澤或組織的差異，而非表面的凹凸狀況時，亦必須藉由正反射光才能清晰地進行觀察。從鏡頭方向垂直照明的方法，稱作「同軸垂直照明」。要產生同軸垂直照明，如右圖所示，需使用半透鏡，使照射於目標物的照明光軸與鏡頭的光軸一致。