雷射掃描共焦顯微鏡
雷射掃描顯微鏡
雷射掃描顯微鏡包含兩種光源:用於收集顏色資訊的白光和用於收集高度資訊的雷射光。在樣本表面沿XYZ方向進行雷射掃描,並量測反射光強度,即可獲得高度資料。生成的高解析度、大景深的彩色影像,具有奈米級高度解析度,可實現精確的輪廓度和粗糙度量測。該設備集成了光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡和表面粗糙度儀的功能。
![量測原理功能圖。1. 雷射在X和Y方向上掃描。2. 物鏡在Z方向移動,雷射再次在X和Y方向上掃描。3. 重複此掃描過程,直到達到量測深度的終點。4. 完成量測。](/Images/ss_microscope_glossary_ot_laser_scanning_confocal_microscopes_001_2008243.jpg)
雷射掃描顯微鏡包含兩種光源:用於收集顏色資訊的白光和用於收集高度資訊的雷射光。在樣本表面沿XYZ方向進行雷射掃描,並量測反射光強度,即可獲得高度資料。生成的高解析度、大景深的彩色影像,具有奈米級高度解析度,可實現精確的輪廓度和粗糙度量測。該設備集成了光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡和表面粗糙度儀的功能。