雷射掃描共焦顯微鏡

雷射掃描顯微鏡

雷射掃描顯微鏡包含兩種光源：用於收集顏色資訊的白光和用於收集高度資訊的雷射光。在樣本表面沿XYZ方向進行雷射掃描，並量測反射光強度，即可獲得高度資料。生成的高解析度、大景深的彩色影像，具有奈米級高度解析度，可實現精確的輪廓度和粗糙度量測。該設備集成了光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡和表面粗糙度儀的功能。