雷射顯微鏡
只需放置樣品後按一鍵,就能全自動完成量測的雷射顯微鏡。從光學顯微鏡到SEM的觀察領域,1 台包含觀察力、瞬間正確掃描各種形狀目標物的量測力、豐富的分析工具等。能因應各種觀察、量測、分析的需求。
產品陣容
產品特性
1台搭載3種量測原理
不受限材質和形狀,實現無與倫比的3D量測精度
雷射共軛焦
以往精度不足的非接觸式量測,也能實現高精度與高倍率。
白光干涉
克服量測鏡面、透明、奈米等級檢測對象時的困難。
Focus Variation
對應以往無法量測的廣範圍與起伏變化大的形狀。
任何人都能透過多點自動量測功能輕鬆實現3D量測
對複數位置進行多點量測
只要點選想量測的位置,即可輕鬆設定位置、座標、倍率等。
自動量測複數工件
可將設定過的量測內容複製到複數工件,不需再做複雜設定。
雷射共軛焦、Focus Variation、 白光干涉 3 種不同掃描原理,可一台使用。可依樣品工件的材質、形狀、量測範圍,選擇最佳的掃描方式,達到高精度量測。