微粒/異物混入量測
由於品質要求的提高，在製造過程中防止外來微粒混入變得越來越重要。
照明方法
除了具有合適亮度和高解析度的鏡頭外，最重要的是選擇合適的照明方法。環狀照明和同軸垂直照明均可用於物體的詳細檢測。當使用數位顯微鏡對低反射率或半透明目標物進行微粒/異物混入量測時，透射照明是最佳選擇。如果反射率較高並產生光澤時可採用散射照明，清晰地辨別微粒/異物與目標物。透過對射照明改變照明方向會有助於顯示外來微粒。若只有穿過透明物體才能觀察目標物，可採用偏光照明。
- A
- 光源
- B
- 鏡頭
- C
- 目標物
- D
- 半透鏡
- A
- 光源
- B
- 鏡頭
- C
- 目標物
- D
- 磨砂玻璃濾光片
KEYENCE數位顯微鏡具有多重照明功能，可將拍攝的影像中的所有照明資料保存下來。使用者能夠隨時更改影像照明，而無須重新拍攝物體影像。
使用KEYENCE數位顯微鏡的環狀反射減少功能，可以更詳細地進行微粒/異物混入量測。
微粒/異物混入量測
透過KEYENCE的全角度觀察技術，使用者可以準確地確定外來微粒是在表面之上還是在表面之下。這降低了量測難度，有利於快速制定潛在的解決方案。
外來微粒的3D成像是制定解決方案的另一種途徑。在量測過程中，3D資料有助於確定問題的根源是在於劃痕還是在於外來微粒。
透過量測外來微粒進行量化分析
在觀察並拍攝外來微粒後，KEYENCE數位顯微鏡系統可即時進行2D和3D的量測，並透過文本處理或EXCEL形成報告。
KEYENCE數位顯微鏡根據ISO 16232和VDA 19等a標準進行微粒/異物混入量測。先進的成像功能讓使用者可以進行精度可達1 μm的高精度量測。
