噴霧塗佈機

噴霧塗佈機利用噴霧進行鍍膜。
在此說明空氣、超聲波、靜電等噴霧方式。

噴霧塗佈機的概要

「噴霧塗佈機」是利用噴霧的鍍膜方法,將塗佈液體霧化並塗佈在工件(基材)上。
隨著裝置的高度化和多樣化,被運用於從觸控面板的透明傳導膜等薄片狀物體的薄膜鍍膜到太陽能電池的部件、半導體的光阻劑塗佈等廣泛的用途。

噴霧方式的類型

噴霧塗佈機根據噴霧的方式,大致可分為3類,即「空氣噴霧方式」、「超聲波噴霧方式」和「靜電噴霧方式」。

該分類為範例。分類有各種不同的方法,未必全部以此為準。

空氣噴霧方式

空氣噴霧方式示意圖
  1. A. 噴嘴
  2. B. 塗佈液體
  3. C. 藉由與空氣的衝撞實現霧化

利用壓縮空氣使塗佈液體變為細密的霧狀並噴到工件上的方式,塗裝中採用同樣原理的空氣噴塗槍是典型代表。
利用壓縮空氣,從噴嘴中噴出的塗佈液體受到較高壓力,高速與靜止的空氣發生衝撞。這時,塗佈液體因空氣阻力而分裂和低速化,變為霧狀到達工件,這就是其原理。

一般來說,空氣噴霧的塗佈液體飛散較多,較容易發生材料損耗,但裝置也在不斷高度化和多樣化。例如,現在存在使用可以將塗佈液體微粒化的噴嘴能夠均勻塗佈於基材的細微凹凸面的裝置、實現維持高速噴射的穩定噴霧的裝置、載物台或噴嘴的移動控制和自動化實現高度化的裝置等,可以根據工件的面積、塗佈效率和目的等區分使用。

超聲波噴霧方式

超聲波噴霧方式示意圖
  1. A. 霧化片(霧化面)
  2. B. 塗佈液體
  3. C. 超聲波振動
  4. D. 均勻的細微液滴(霧化)

超聲波噴霧方式中,噴嘴前端存在「霧化片(霧化面)」。藉由超聲波的振動,塗佈液體在霧化片表面擴散,開始形成波動。當超聲波輸出加強到超過表面張力時,變為霧狀液滴飛散落下。
液滴細微且均勻,因此適用於局部而均勻的塗佈。並且,基本不會發生液滴的彈回、不必要的飛散等,因此材料的損耗極少,這也是其優點之一。
根據目的,噴嘴可以選擇各種長度、大小和形狀。設定必要的流量和振動頻率,噴出均勻的液滴,從而可以控制鍍膜的膜厚和膜質。
用途有電子零件的絕緣膜和導電膜、半導體的光阻劑、硬質塗層和防反射、潑水、潑油的鍍膜等。

靜電噴霧(電噴)方式

塗佈液體在噴嘴中受到數千伏特的電壓而帶電,藉由帶電導致的排斥力實現細微的霧化。霧化後的液體被吸引並附著在設置了接地的載物台上的工件(基材)表面上。支援廣泛黏度的液體和膏體、含有漿料含分散填料的液體,在表面有凹凸的基材上也可均勻成膜。
並且,可以將幾乎所有液體都附著在基材表面,與普通的空氣噴霧塗佈機、旋轉塗佈機相比,液體的使用效率極高,可以減少材料成本。

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