電子元件產業

IC晶片拾取時發生靜電破壞

以下介紹電子元件產業因靜電引發的問題,以及透過靜電消除器獲得改善的案例。

改善案例

晶片切割後,透過晶片移載機拾取IC晶片。切割膠帶與IC晶片會發生剝離帶電,且在拾取時電位大幅上升。如此一來會對周圍的夾具及其他晶片造成靜電放電,導致靜電破壞。

切割:在晶圓上切割IC晶片的製程

拾取:以吸嘴將切割好的晶片吸起的操作

IC晶片拾取時發生靜電破壞

過去採取的對策

老舊靜電消除器

  • 對於拾取晶片時急遽產生的帶電,消除能力不足
  • 經過一段時間後效果快速降低

使用靜電消除器(Ionizer)作為對策

可確實防止生產不良品,同時減少報廢成本。

使用靜電消除器(Ionizer)作為對策

改善、效果
現場的反應

減少不良品報廢的成本

靜電破壞產生的報廢成本 $1,000/月×12個月=$12,000/年

除上述以外,還能減少維護靜電消除器的工時。

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