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隆重推出世界首創微型感測頭,其擁有同類產品中最高的量測精度,並實現過去認為不可能實現的性能。
產品型錄
採用近紅外 SLD,即使已貼附 BG 帶也可量測晶圓本身的厚度。即使晶圓表面存在由於圖樣而產生的顯著差異,也可實現準確的生產線上量測。
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