搜尋紀錄
    系列 ( 項結果的)
      型號 ( 項結果的)
        關鍵字
          1. 首頁
          2. 產品
          3. 位移計
          4. 光譜干涉式位移計
          5. 光譜干涉晶圓測厚儀

          光譜干涉晶圓測厚儀

          SI-F80R 系列

          產品特點

          採用近紅外 SLD,即使已貼附 BG 帶也可量測晶圓本身的厚度。即使晶圓表面存在由於圖樣而產生的顯著差異,也可實現準確的生產線上量測。

            • 即使已貼附背面研磨帶也可量測晶圓厚度
            • 將圖樣的影響降到最小
            • 可在生產線上執行量測
            • 自動映射整個晶圓的厚度分佈
            • SI-F80R 系列使用近紅外 SLD,可穿過矽、砷化鎵、碳化矽、磷化銦、非晶矽及其它半導體。

            • 透過降低光束直徑和光點內的表面相差,可大幅減少晶圓表面圖案的變化和量測警報的發生次數。

            • 可解決傳統晶圓量測方法所存在的問題的量測裝置。

            • 以簡單易懂的方式解釋達到超高精度的量測原理。

          量測應用指南

          量測數據庫

          • General Catalog Request
          • Trade Shows and Exhibitions
          • eNews Subscribe

          頁首

          台灣基恩斯股份有限公司 104 台北市中山區南京東路三段 168號8樓之1
          電話:+886-(0)2-2721-8080
          或 +886-800-010-898(免付費電話)
          傳真: +886-(0)2-2721-7770
          E-mail:info@keyence.com.tw
          人才招募: KEYENCE 人才招募網站

          位移計