工具顯微鏡

概要

結合光學顯微鏡與精密可動檯面，以進行目標物量測的裝置。與投影機同樣採用遠心光學系統，可進行正確的量測。而且，此為非接觸氏量測，因此無需擔心對目標物造成損傷。
依據用途而定，包括工具顯微鏡、工廠用工具顯微鏡、萬能工具顯微鏡等。其各自的特點如下。

• 工具顯微鏡：為第一種量測用顯微鏡，用於工具的量測。
• 工業顯微鏡：適用於小尺寸的加工零件等的量測。
• 萬能工具顯微鏡：應用範圍比工具顯微鏡更廣泛，可量測較大的目標物。

結構與用途

工具顯微鏡的主要使用方法

1. 將目標物設置於載物台上。
2. 與一般光學顯微鏡相同，以穿透光或反射光照射目標物，將陰影的邊界對準基準線以進行量測。依據目標物使用不同的照明（背光照明、同軸落射照明等）。
3. 量測值可輸出做為各種CAD資料使用。

使用時的注意事項

• 與使用一般顯微鏡相同，需要在無塵的環境中使用。此外，設置台必須無振動或傾斜。
• 使用後需蓋上防塵罩以防止灰塵堆積。
• 工具顯微鏡的校正週期為1至3年。

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