雷射顯微鏡

只需放置樣品後按一鍵，就能全自動完成量測的雷射顯微鏡。從光學顯微鏡到SEM的觀察領域，1 台包含觀察力、瞬間正確掃描各種形狀目標物的量測力、豐富的分析工具等。能因應各種觀察、量測、分析的需求。

下載型錄

產品陣容

VK-X3000 系列 - 形狀分析 雷射共軛焦 兼 白光干涉顯微鏡

形狀分析 雷射共軛焦 兼 白光干涉顯微鏡 VK-X3000 系列

採用雷射共軛焦、白光干涉、Focus Variation 3種不同掃描原理的「三重掃描方式」。以高精度量測、分析各種目標物。實現最高解析度0.01 nm，奈米等級微小形狀變化也可正確量測。最大掃描區域50 mm平方，大的凹凸・手掌大小的目標物可完整掃描全貌與部分形狀皆可一台掌握。對於鏡面體・透明體等難度高的材質，可高速、高精度、大範圍量測。高倍率/低倍率、平面/凹凸/表面粗糙度、鏡面/透明等目標物不受限的全新雷射顯微鏡。

產品型錄 了解價格

雷射共軛焦、Focus Variation、 白光干涉 3 種不同掃描原理，可一台使用。可依樣品工件的材質、形狀、量測範圍，選擇最佳的掃描方式，達到高精度量測。