隔著視窗的晶圓高度及傾斜等檢測

LK-G 系列的產品陣容內含安裝距離為 1 m 的超長距離感測頭。可以隔著視窗執行量測，以高精度檢測位處真空或高溫環境下的晶圓高度及傾斜等資料。

超高速、高精度CCD雷射位移感測器

LK-G3000 系列

返回到根據產業和用途選擇產品