表面 3D 輪廓量測儀

VR-6000 系列

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表面3D 輪廓量測儀 控制器 VR-6000

VR-6000 - 表面3D 輪廓量測儀 控制器

  • CE Marking
  • CSA

產品規格

型號

VR-6000

類型

控制器

量測頭

VR-6200、 VR-6100

觀察視野

低倍(大視野)

15 吋螢幕上顯示倍率 12×

水平

24.0 mm

垂直

18.0 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 25×

水平

12.0 mm

垂直

9.0 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 38×

水平

8.0 mm

垂直

6.0 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 50×

水平

垂直

4.5 mm

高倍(高解析度)

15 吋螢幕上顯示倍率 40×

水平

7.6 mm

垂直

5.7 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 80×

水平

3.8 mm

垂直

2.9 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 120×

水平

2.5 mm

垂直

1.9 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 160×

水平

垂直

1.4 mm

縮放

1 至 4 倍

高度量測

顯示解析度

0.1 μm

高度量測範圍

無Z 連接

低倍(大視野): 10 mm
高倍(高解析度): 1 mm

有Z 連接

低倍(大視野): 50 mm
高倍(高解析度): 30 mm

重複精度σ

無Z 連接

0.4 μm *1

有Z 連接

1.0 μm *1

精準度

無Z 連接

±2.5 μm *1

有Z 連接

±4.0 μm *1

寬度量測

重複精度σ

低倍(大視野): 1 μm
高倍(高解析度): 0.5 μm
*1

精準度

低倍(大視野): ±5 μm
高倍(高解析度): ±2 μm
*1

影像連接功能

VR-6200: 全自動量測(XY 自動控制+ Z 自動控制、θ 自動控制)、自動建立MAP 影像、自動區域設定
VR-6100: 手動量測(XY 手動移動+ Z 自動控制)
*2

影像連接功能

電動旋轉裝置

VR-6200: 支援 *2
VR-6100: 不支援

XY 可量測範圍

VR-6200: 300 × 150 mm
VR-6100: 92 × 86 mm
*2

載物台

XY 載物台移動量

VR-6200: 278 × 134 mm(電動)
VR-6100: 70 × 70 mm(手動)

Z 載物台移動量

69 mm(電動)

耐受重量

4.5 kg

動作距離

75 mm

拍攝元件

1 吋 400 萬畫素 黑白CMOS

投光鏡頭

雙遠心鏡頭× 2

受光鏡頭

雙遠心鏡頭

照明系統

觀察用光源

LED 環狀照明(紅、藍、綠)

量測用光源

白色LED

資料處理部

KEYENCE指定專用 PC( OS 為 Windows 10 Pro)

電源

電源電壓

AC100 ~ 240 V ±10% 50/60 Hz

功率消耗

200 VA 以下

環境抗耐性

環境溫度

+ 15 ~ 30℃

相對濕度

20 至80%RH(無凝結)

重量

約4 kg

*1 使用KEYENCE規定的標準規,以KEYENCE規定的量測模式進行量測時的數值(環境溫度23±1℃)
*2 需要量測功能擴充模組(VR-H4J)

其他型號