形狀分析 雷射共軛焦 兼 白光干涉顯微鏡

VK-X3000 系列

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量測頭 VK-X3100

VK-X3100 - 量測頭

  • CE Marking
  • CSA

產品規格

型號

VK-X3100

類型

量測頭

綜合倍率

42 至 28800 倍*1

視野範圍

11 至 7398 μm

量測原理

雷射共軛焦、Focus Variation、白光干涉、分光干涉

雷射光源波長

半導體雷射 404 nm

最快雷射量測速度

面:125 Hz、線:7900 Hz*2

雷射最大輸出

0.9 mW

雷射分類

第 2 類雷射製品(IEC60825-1)

雷射受光元件

16 位元感測光電倍增管

白色光源

白色 LED

白光受光元件

超高精細彩色 CMOS

雷射共軛焦

高度顯示解析度

0.1 nm

高度重複精度 σ

10×:100 nm、20×:40 nm、50×:12 nm

高度準確性

0.2+L/100 μm 以下*3

寬度顯示解析度

0.1 nm

寬度重複精度 3σ

10×:200 nm、20×:100 nm、50×:40 nm

寬度準確性

量測值 ±2% 以內*3

Focus Variation

高度顯示解析度

0.1 nm

高度重複精度 σ

5×:500 nm、10×:100 nm、
20×:50 nm、50×:20 nm

高度準確性

0.2+L/100 μm 以下*3

寬度顯示解析度

0.1 nm

寬度重複精度 3σ

5×:400 nm、10×:400 nm、20×:120 nm、
50×:50 nm

寬度準確性

量測值 ±2% 以內*3

白光干涉

高度顯示解析度

0.01 nm

寬度顯示解析度

0.1 nm

Surface Topography Repeatability

0.08 nm*4

Repeatability of RMS

0.008 nm*4

分光干涉膜厚量測

重複精度 σ

0.1 nm*4

準確性

±0.6%*4

光學觀察

畫素數

560 萬

旋轉器

6 孔電動旋轉器

環狀照明適用鏡頭

2.5 倍、5 倍、10 倍

光學變焦

1 至 8 倍

XY 載物台構造

手動運轉範圍

70 × 70 mm

電動運轉範圍

100 × 100 mm

電源

電源電壓

100 至 240 VAC、50/60 Hz

功率消耗

150 VA

環境抗耐性

環境溫度

+15 至 28°C

相對濕度

20 至 80% RH(無凝結)

重量

約 13 kg

*1 23 吋顯示器畫面上的全螢幕顯示時的倍率
*2 在量測模式/ 量測品質/ 鏡頭倍率的組合下為最快的情形。線性掃描的量測間距為 0.1 μm 以內時。
*3 以 20 倍以上的鏡頭量測標準試料時
*4 於 KEYENCE 規定之量測環境中的代表值。

其他型號