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          高精度 影像尺寸測量儀LM 系列

          量測頭

          LM-1100

          產品規格

          選取語言

          型號

          LM-1100

          類型

          量測頭

          拍攝元件

          1 吋 2000 萬畫素 黑白 CMOS

          顯示器

          10.4 吋 LCD 顯示器 (XGA:1024 × 768)

          受光鏡頭

          雙遠心鏡頭

          影像量測

          視野

          大視野量測模式

          225 mm × 125 mm

          高精度量測模式

          206 mm × 106 mm

          最小顯示單位

          0.1 µm

          重複精度

          視野內 (2σ)

          大視野量測模式

          ±0.5 µm

          高精度量測模式

          ±0.1 µm

          移動載物台

          X、Y 軸

          ±0.9 µm

          XY 平面

          量測精度

          視野內 (2σ)

          大視野量測模式

          ±2 µm*1

          高精度量測模式

          ±0.7 µm*2

          移動載物台

          X、Y 軸 (EUX,MPE , EUY,MPE)

          ±(1.8 + 0.02 L)µm*3

          XY 平面( EUXY,MPE)

          ±(2.8 + 0.02 L)µm*3

          高度量測

          重複精度

          ±2 µm

          量測精度

          ±(4.8 + 0.04 L)µm*4

          外部遙控輸入

          無電壓輸入 ( 有接點/ 無接點)

          外部輸出

          OK/NG/FAIL/MEAS.

          PhotoMOS 輸出
          額定負載 24 VDC、0.5 A
          ON 電阻 50 mΩ 以下

          介面

          LAN

          RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

          USB 3.1

          2 個連接埠 ( 背面 2)

          USB 2.0 Series A

          4 個連接埠 ( 前 2、背面 2)

          顯示器輸出

          DVI-D

          儲存

          硬碟

          500 GB

          照明系統

          背光

          遠心背光照明

          上方

          4 分割多角度照明 ( 電動)
          細型環 ( 指向性) 側射照明 ( 電動)
          遠心直線同軸照明

          外部照明控制

          控制光量

          PWM 控制 100 kHz

          輸出電壓

          12 VDC

          輸出電流

          1.6 A ( 最大)

          XY 載物台

          移動範圍

          200 mm × 100 mm ( 電動)

          耐受重量

          7 kg

          Z 載物台

          移動範圍

          75 mm ( 電動)

          電源

          電源電壓

          AC100 至 240 V±10% (50/60 Hz)

          功率消耗

          430 VA 以下

          環境抗耐性

          工作環境溫度

          + 10 至 35℃*5

          工作環境濕度

          20 至 80% RH ( 無凝結)

          過電壓種類

          污染等級

          2

          重量

          約 30 kg

          *1 20 mm × 20 mm 的範圍,聚焦點位置之工作環境溫度為 +23±1℃ 時
          *2 5 mm × 5 mm 的範圍,聚焦點位置之工作環境溫度為 +23±1℃ 時
          *3 參考 ISO10360-7,聚焦點位置之工作環境溫度為 +23±1℃,載物台乘載重量 2 kg 以下時,L 為 XY 載物台移動量 (mm)
          *4 參考 ISO10360-7,工作環境溫度為 +23±1℃,量測最大高度設定在 50 mm 以下時,L 為 Z 載物台移動量 (mm)
          *5 XY 載物台移動速度 80 mm/s 時為+ 15 至 35℃

          量測系統程式庫

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