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          表面3D輪廓量測儀VR 系列

          VR-5000

          表面3D 輪廓量測儀 控制器

          產品規格

          選取語言

          型號

          VR-5000

          類型

          控制器

          量測頭

          VR-5200,VR-5100

          觀察視野

          低倍(大視野)

          15 吋螢幕上顯示倍率12×

          水平

          24.0 mm

          垂直

          18.0 mm

          15 吋螢幕上顯示倍率25×

          水平

          12.0 mm

          垂直

          9.0 mm

          15 吋螢幕上顯示倍率38×

          水平

          8.0 mm

          垂直

          6.0 mm

          15 吋螢幕上顯示倍率50×

          水平

          垂直

          4.5 mm

          高倍(高解析度)

          15 吋螢幕上顯示倍率40×

          水平

          7.6 mm

          垂直

          5.7 mm

          15 吋螢幕上顯示倍率80×

          水平

          3.8 mm

          垂直

          2.9 mm

          15 吋螢幕上顯示倍率120×

          水平

          2.5 mm

          垂直

          1.9 mm

          15 吋螢幕上顯示倍率160×

          水平

          垂直

          1.4 mm

          縮放

          1 至 4 倍

          高度量測

          顯示解析度

          0.1 µm

          高度量測範圍

          無Z 連接

          低倍 ( 大視野 ) : 10 mm
          高倍 ( 高解析度 ) : 1 mm

          有Z 連接

          低倍 ( 大視野 ) : 50 mm
          高倍 ( 高解析度 ) : 30 mm

          重複精度σ

          無Z 連接

          0.4 µm*1

          有Z 連接

          1.0 µm*1

          精準度

          無Z 連接

          ±2.5 µm*1

          有Z 連接

          ±4.0 µm*1

          寬度量測

          重複精度σ

          低倍 ( 大視野 ) : 1 µm
          高倍 ( 高解析度 ) : 0.5 µm
          *1

          準確性

          低倍 ( 大視野 ) : ± 5 µm
          高倍 ( 高解析度 ) : ± 2 µm
          *1

          影像連接功能

          VR-5200 : 全自動量測 ( XY 自動控制 + Z 自動控制 ) 、自動建立 MAP 影像、自動區域設定
          VR-5100 : 手動量測 ( XY 手動移動 + Z 自動控制 )
          *2

          XY 可量測範圍

          VR-5200 : 206 × 104 mm
          VR-5100 : 92 × 86 mm
          *2

          載物台

          XY 載物台移動量

          VR-5200:184 × 88 mm (電動 )
          VR-5100 : 70 × 70 mm ( 手動 )

          Z 載物台移動量

          73 mm ( 電動 )

          耐受重量

          4.5 kg

          動作距離

          75 mm

          拍攝元件

          1 吋 400 萬畫素黑白 CMOS

          投光鏡頭

          雙遠心鏡頭 × 2

          受光鏡頭

          雙遠心鏡頭

          照明系統

          觀察用光源

          LED 環狀照明 ( 紅、藍、綠 )

          量測用光源

          白色 LED

          資料處理部份

          KEYENCE 指定專用 PC (OS 為 Windows 10 Pro)

          電源

          電源電壓

          100 至 240 VAC 50/60 Hz

          功率消耗

          200 VA 以下

          環境抗耐性

          工作環境溫度

          +15 至 30 ℃

          工作環境濕度

          35 至 80 % RH ( 無凝結 )

          重量

          約 4 kg

          *1 使用 KEYENCE 規定的基準規,以 KEYENCE 規定的量測模式進行量測時的數值 ( 環境溫度 23 ± 1 ℃ )
          *2 需要量測功能擴充模組 ( VR-H3J )
          * Windows 為美國微軟公司在美國及其他國家的註冊商標或商標。

          量測系統程式庫

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          尺寸測量 / 表面測量儀