輪廓儀
產品陣容
表面 3D 輪廓量測儀「VR-6000 系列」以非接觸方式實現粗糙度儀、輪廓形狀測量儀的量測。此 3D 輪廓量測儀可以使用 0.1 µm解析度掌握觸針式無法完全量測的面整體形狀。全新搭載了電動旋轉裝置。藉由一邊旋轉樣品一邊量測，無死角呈現真實的截面形狀。輕鬆量測以往必須截斷才能正確量測的部位厚度及深度尺寸。掃描能力透過 HDR 掃描演算法進化，針對光學式輪廓量測儀不易量測的光澤表面及較弱的反射材料目標物，亦可以瞬間判斷最佳條件，準確量測形狀。動態掃描範圍最高可達以往的 1000 倍。
形狀分析雷射共軛焦兼白光干涉顯微鏡 VK-X4000 系列，採用整合雷射共軛焦、白光干涉與 Focus Variation 三種不同掃描原理的「三重掃描方式」，可對各類目標物進行高精度量測與分析。此外，針對鏡面體與透明體等高難度材質，也能實現高速、高精度且大範圍的量測。再加上全新搭載的多點量測功能，即使面對多個目標物，也能由任何操作者輕鬆完成全自動多點量測，無需複雜設定即可實現量測流程自動化。在有效縮短作業時間的同時，亦可增加量測取樣點數，進一步提升研究開發過程中的客觀性與結果可靠性。
