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晶圓凹口位置的偵測

Position detection of wafer notches

影像系統可以偵測晶圓凹口的旋轉位置。

5 百萬像素照相機提供的高解析度和「趨勢邊緣瑕疵」工具的內建演算法不但可以穩定地偵測槽口,還可以輸出位置和尺寸資料。

優點

以前常使用 2 百萬像素的照相機來偵測凹口的位置,但是該照相機的重複性卻不夠穩定。XG 系列系統、5 百萬像素高速照相機和新的「趨勢邊緣瑕疵」工具可以實現對凹口位置的穩定判斷。

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