晶圓凹口位置的偵測
影像系統可以偵測晶圓凹口的旋轉位置。
5 百萬像素照相機提供的高解析度和「趨勢邊緣瑕疵」工具的內建演算法不但可以穩定地偵測槽口，還可以輸出位置和尺寸資料。
- 優點
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以前常使用 2 百萬像素的照相機來偵測凹口的位置，但是該照相機的重複性卻不夠穩定。XG 系列系統、5 百萬像素高速照相機和新的「趨勢邊緣瑕疵」工具可以實現對凹口位置的穩定判斷。
瞭解產品的詳細資料
- XG-8000 系列
超高速、高容量多功能 CAMERA 影像處理系統 -
持續進化的影像處理市場中，包含各式各樣的機型。
- XG-8000 系列
- XG-7000 系列
超高速，機動化影像處理系統 -
XG 系列可透過控制器直接進行標準程式設計，也能使用選購的 Vision Editor PC 軟體執行進階程式設計。
- XG-7000 系列
- CV-5000 系列
超高速，多CAMERA影像處理系統 -
CV-5000系列的7X高速CCDCAMERA是同類產品中最快的，能輕鬆支援超高速生產線和持續移動的工件。
- CV-5000 系列
- CV-3000 系列停產
多重CAMERA泛用型 -
使用業界最高性能的影像處理引擎，配合多種CAMERA選擇，提供了最大的機動性。
產品型錄
技術指南
- CV-3000 系列停產
