線切割材料的熱膨脹量測

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  SI-F 系列
  微型光譜干涉雷射位移計

  隆重推出世界首創微型感測頭，其擁有同類產品中最高的量測精度，並實現過去認為不可能實現的性能。

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  SI-F80R 系列
  光譜干涉晶圓測厚儀

  採用近紅外 SLD，即使已貼附 BG 帶也可量測晶圓本身的厚度。即使晶圓表面存在由於圖樣而產生的顯著差異，也可實現準確的生產線上量測。

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