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解決方案

基座的偏心率量測

Eccentricity measurement of a susceptor

半導體製造

異常的偏心率會導致生產出不規則的零件

優點

高速採樣和高精度量測會增加週期時間

瞭解產品的詳細資料

  • LK-G5000 系列
    超高速/ 高精度 CMOS 雷射位移感測器

    雷射位移感測器必須同時具備速度，精度和卓越性能，方可勝任於所有應用。LK-G5000 採用了國際頂尖技術，力爭在各個方面都做到世界最佳。

    產品型錄 技術指南

  • LK-G3000 系列
    超高速、高精度CCD雷射位移感測器

    有6種感測頭可供選擇，配合全新演算法和2種級型的光學系統一同使用

    產品型錄 技術指南

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