台灣

基座的偏心率量測

Eccentricity measurement of a susceptor

半導體製造

異常的偏心率會導致生產出不規則的零件

優點

藉由高速取樣和高精度量測,能夠在維持量測品質下降低生產耗時。

超高速/ 高精度 CMOS 雷射位移感測器