晶圓膠帶的裁切、剝離、刻印

在背面研磨前，對粘貼用於晶圓表面保護的晶圓膠帶進行裁切。晶圓膠帶剝離前照射雷射，減小附著力。晶圓切割前在切割膠帶上實施刻印，用於個體識別。

3 軸混合式雷射刻印機

MD-X 系列

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