量測散熱板的平面度

量測散熱板的平面度。由於是以面來捕捉目標物，可對以最小二乘法所計算出之基準平面，來量測平面度。由於不會受設置目標物時傾斜而造成的誤差影響，可做到正確的檢查。

超高精細線上輪廓感測器

LJ-X8000 系列

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