量測機械手臂的位置、振動

在搬運晶圓等狀況下，非常重要的是要等到機械手臂停止後的殘餘振動止歇，才能進到下一個工程。以雷射位移計確認殘餘振動是否止歇，便可預防下一個製程所發生的裝置問題或加工不良。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列