高精度載物台的定位

能以解析度 0.25 μm 進行超高精度量測。由於感測頭不會發熱，不會影響周遭環境溫度，可不受溫度變化帶來的量測誤差影響進行量測。

微型光譜干涉雷射位移計

SI-F 系列

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