量測 SiC 晶圓的厚度

量測 SiC 晶圓的厚度。搭載了不會發熱的感測頭、量測厚度時專用的感測頭固定夾具，以及光軸校正功能，達到了至今無法做到的高精度厚度量測。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列

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