檢查 MEMS 鏡的傾斜

量測鏡面的平坦度。WI 系列採用了可進行完全同軸量測的白光干涉方式，可正確量測鏡面或樹脂等各種目標物。

3D 干涉式位移感測器

WI-5000 系列

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