檢查覆晶接合後的傾斜

檢查接合後元件的傾斜。CL 系列採取了可進行同軸量測的彩色共焦方式。無論目標物為鏡面、粗糙面，都可用同樣的安裝方法進行量測，達到簡單又高精度的檢查。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列

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