晶圓的翹曲量測

為防止大口徑且較薄的晶圓在以機械手臂輸送時變形或破損，量測與檢查翹曲量是非常重要的。CL 系列可因應各種表面狀態的目標物，無論粗糙面、鏡面、有無圖形等等都能穩定量測。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列