機械手臂的位置檢查

一旦機械手臂的高度位置改變，就可能有在晶圓載具中撞擊晶圓的風險，因此必須定期檢查高度。由於 CL 系列採用同軸量測原理的小型感測頭，因此能安裝於複雜設備內狹小的空間中。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列