雷射刻印的溝槽深度量測

以往是移動目標物來量測形狀。WI 系列可以面為單位同時量測，不需要高精度載物台。此外，由於它採用同軸量測方式，因此沒有死角，無論刻印形狀為何都能正確量測。

3D 干涉式位移感測器

WI-5000 系列

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