切割溝槽的深度量測

以往通常以顯微鏡來進行離線檢查，因此人為的量測誤差是需要解決的課題。WI-5000 系列採用非接觸形式，同時也是取得了可追溯性的測量儀器，具備高可靠性，任何人都可執行相同的量測。

3D 干涉式位移感測器

WI-5000 系列