雷射切割機的 Z 軸調整

於加工前量測晶圓的高度，藉此調整設備的 Z 軸。有了CL 系列的非接觸形式量測，便無須擔心對目標物造成應力或損傷。此外由於它採用小型感測頭，因此能安裝於設備內有限的空間中。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列