鑽石切割刀的溝槽深度量測

可以在最大 10 × 10 mm 的範圍內量測約 8 萬筆的高度資料。由於它以面而非點來捕捉形狀，因此就連狹小的溝槽深度也能高速且正確地完成量測。此外也無須像以往那樣讓感測頭進行掃描，可以減少設計夾具的勞力。

3D 干涉式位移感測器

WI-5000 系列