玻璃高度量測

量測與晶圓接合時的承載玻璃高度。SI-F 系列的產品陣容內含 ø8 mm 的小型感測頭，可進行解析度 0.25 µm 的高精度量測。此外，即便是透明體的表面高度也可穩定檢測。

微型光譜干涉雷射位移計

SI-F 系列