凹口定位

以往是用 1D 雷射位移計來檢測凹口位置。隨著晶圓愈來愈薄，翹曲幅度也變得較大，因此出現了光點不準的問題。由於 LJ-X 系列使用了線性雷射，可因應因晶圓翹曲所造成的位置偏移問題。

超高精細線上輪廓感測器

LJ-X8000 系列