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只有 ø2 mm 大的微型感測頭可以在設備的有限空間內執行過去難以達成的量測。此外,感測頭內部無電子元件,屬於不會發熱的結構。能減少誤差因素,實現穩定的量測。
微型光譜干涉雷射位移計
SI-F 系列
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