針測機載物台的平面度量測

運用由多個感測頭獲得的高度量測值來量測載物台的平面度。SI-F 系列的 ø8 mm 小型感測頭不含會發熱的部分，不會產生溫度漂移等誤差，可實現極為正確的量測。

微型光譜干涉雷射位移計

SI-F 系列

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