晶圓端面形狀量測

量測研磨處理後的晶圓端面形狀。LJ-X 系列可瞬間量測截面形狀。只要一邊旋轉一邊執行量測，即可檢查整個晶圓外圍的端面形狀。此外，透過最小間距 2.5 µm 的超高精細量測，就連細微的形狀變化也能檢測出來。

超高精細線上輪廓感測器

LJ-X8000 系列