研磨墊的表面形狀量測

以往若要確認會隨著使用而磨損的研磨墊狀態，必須將其從設備上取下才能量測，因此有耗費人力及時間的課題。CL 系列的小型感測頭，能直接安裝於設備上進行量測。在機上的研磨墊溝槽深度等形狀量測得以實現。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列