研磨機的高度量測

只要將感測頭安裝於研磨機內，位移計便能以非接觸形式量測研磨機與晶圓的距離，能以高精度管理間距。CL 系列採用可以執行同軸量測的小型感測頭，因此安裝時能夠節省空間。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列