退火設備的 Z 軸定位

量測雷射退火時的晶圓高度。CL 系列採用小型感測頭，因此能安裝於設備內有限的空間中。此外透過同軸量測方式，即使感測頭與目標物的距離改變，光點位置也不會變化，可以常保正確的量測。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列