靜電夾頭的突起高度、平面度量測

以控制器演算由多個感測頭獲得的高度量測資料，藉以執行平面度量測。此外，CL 系列的感測頭內部無電子元件，屬於「不會發熱」的結構。可以穩定量測，不必擔心感測頭會對設備造成溫度變化。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列