隔著石英玻璃的晶圓翹曲度量測

隔著石英玻璃量測位處真空或高溫環境下的晶圓翹曲度。由於 CL 系列採用小型感測頭，因此能安裝至具有視窗的有限空間內。此外，可量測所有表面狀態的目標物。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列

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