光罩對位

只要將 ø8 mm 的小型感測頭配置於 3 個方向，即可依據各感測頭與目標物的距離資訊正確計算出位置及角度。SI-F 系列具備解析度 0.25 µm 的超高精度，最多可 6 個感測頭同時執行量測。

微型光譜干涉雷射位移計

SI-F 系列