晶圓載物台定位

解析度達 0.25 µm，能夠實現超高精度量測。SI-F 系列感測頭不會發熱，因此能在不影響周遭環境的溫度、也沒有溫度漂移導致量測誤差的狀態下進行量測。

微型光譜干涉雷射位移計

SI-F 系列

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